1-Rohr Diffusionsofen Typ DA-800-1 / DA-1100-1 für Hochtemperaturprozesse

Der INOTHERM 1-Rohr-Diffusionsofen eignet sich hervorragend für sämtliche Hochtemperaturprozesse die in der Industrie zum Einsatz kommen. Der Diffusionsofen kann mit wassergekühlten INOTHERM-Heizkassetten bestückt werden. Dadurch entfällt jede von Lüftersystemen und Wärmetauschern ausgehende Staubentwicklung. Die thermische Belastung des Raumes wird somit auf ein Minimum reduziert.

Der kompakte Aufbau garantiert hohe Flexibilität und Servicefreundlichkeit. Bei der Vielzahl an zusätzlichen zur Verfügung stehenden Baugruppen wie PC-Master- Steuerung, Gassytemen, Einfahrmaschinen etc., kann der Ofen bis zur vollautomatischen Diffusions- oder LPCVD-Anlage für horizontal- oder Vertikalbetrieb ausgebaut werden.

Hohe Flexibilität und Servicefreundlichkeit, sämtliche Hochtemperaturprozesse. 1-Rohr Diffusionsofen.

Steuerung

Die Computersteuerung PCM-10 gestattet eine übersichtliche Programmierung und Überwachung der Prozessabläufe. Sie ist frei programmierbar in Bezug auf alle Prozessparameter wie Temperaturen, Druck, Gase und Chargierung. Dagegen sind die Sicherheitssysteme vom Operator nicht zu beeinflussen. Ein unter MS-Windows basierendes System vereinfacht die Bedienung und ist ein wesentlicher Faktor zur Vermeidung von Arbeitsfehlern. Dem Anwender steht ein komfortables Standardsoftwarepaket für die spezifizierten Schichtarten und -qualitäten zur Verfügung. Es enthält Prozessvarianten, die speziell für eine partikel- und defektarme Abscheidung geeignet sind. Besonderer Wert wurde auf die optimale Gestaltung technologisch relevanter Abläufe, wie Ventilsteuerung, Soft pump, Ramping von Gasflüssen und Vermeidung schneller Druckwechsel gelegt. Die Anzeige der Daten kann je nach Wunsch in graphischer oder tabellarischer Form erfolgen. Die Steuerung basiert auf einer PC-Prozessor-Einschubkarte, die mit einem leistungsfähigen 32-Bit RISC Prozessor bestückt ist und einer unter MS-Windows lauffähigen Benutzeroberfläche, welche eine komfortable Bedienung, Programmierung und Visualisierung der Anlage bietet.

 

Sämtliche Steuerungs- und Regelungsaufgaben werden von der Einschubkarte wahrgenommen, der PC arbeitet dabei rein passiv. Dies gewährleistet auch bei einem „Absturz“ des PC die volle Funktionstüchtigkeit der Anlage. Ein komfortabler Schritteditor erlaubt ein einfaches Editieren, Kopieren und Zusammenstellen der Schritte. Verzweigungen und Sprünge sind möglich. Die Schrittlängen können nicht nur zeitabhängig, sondern in Funktion beliebiger Prozessparameter gewählt werden. Vernetzung der Anlagen. Das Einbinden der Anlage in ein PC-Netzwerk eröffnet neue Möglichkeiten. Die Bedienung, Programmierung und Visualisierung der Anlage kann von irgendeinem PC im Netzwerk, z. B. vom Büro des Technologieingenieurs, erfolgen. Das fest installierte Sicherheits- und Überwachungssystem verhindert anlagengefährdende Kombinationen. Ein umfangreiches Schlüssellevelsystem läßt die Zugriffsrechte auf Programme bis auf den einzelnen Prozessparameter mit Wertebereich sowie auf die Bedienung der Anlage definieren. Eine optimal zugeschnittene Visualisierung hilft zur Überwachung der Prozessabläufe.

 

Durch graphische und numerische Darstellung der relevanten Prozessparameter (Gaslaufplan) ist es leicht, den Überblick zu behalten. Alle Systeme sind auch ohne Programm von Hand über den PC bedienbar. Mehrsprachigkeit. Die Benutzeroberfläche ist in verschiedenen Landessprachen konfigurierbar, was die Bedienung und Einarbeitung vereinfacht. Durch eine windowskonforme Bedienung wird die Einarbeitungszeit erheblich reduziert.

Computersteuerung PCM-10. Übersichtliche Programmierung und Überwachung der Prozessabläufe. 1-Rohr Diffusionsofen für Hochtemperaturprozesse.

Technische Angaben

Prozessor-Einschubkarte. 1-Rohr Diffusionsofen für Hochtemperaturprozesse.

 

 

 

Technische Daten

Bezeichnung: DA-800-1 DA-1100-1
Betriebsspannung: 3 x 220 V, belastbarer N (Mp)  
Max. Stromaufnahme: 25 A / Phase  
Max. Leistungsaufnahme: 3 KW / Phase 4 KW / Phase
Luftleistung: ca. 360 m3 /h ca. 760 m3 / h
Max. Arbeitstemperatur: 1300 °C im Diffusionsraum  
Aufheizrate: 45 min. bis 1200 °C (ohne Last)  
Abkühlrate: von 1250 auf 1100 °C ca. 10 min  
  von 1250 auf 900 °C ca. 30 min.  
  von 1250 auf 500 °C ca. 120 min.  
Flatzonenlänge: 360 mm ± 0,5 K 500 mm ± 0,5 K
Regelung: 3 PID-Regeleinheiten  
Temperaturmessung: Thermoelemente Pt/PtRh 10%  
Übertemperaturschutz: Thermoelement Pt/PtRh 10% und Grenzwertmelder je Zone  
Abmessung LxTxH mm: 800x550x600 1100x600x750
Elektrischer Anschluss: 5 x 4 mm2  
Heizelement: Kanthal A1oder Kanthal APM  
Anzahl der Heizzonen: 3  
Nutzb. Innendurchmesser: 92 bis 195 mm  
     

 

Toxische Absaugung. 1-Rohr-Diffusionsofen für Hochtemperaturprozesse

Weiteres Zubehör

Wassergekühlte Heizkassetten. 1-Rohr-Diffusionsofen für Hochtemperaturprozesse

 

Toxische Absaugung
Wassergekühlte Heizkassetten
Gassysteme
Vakuumsysteme
Beladeboxen
Einfahrmaschinen
Quarzware etc.