INOTHERM Industriewärmegeräte GmbH. Anlagen und Geräte für die Halbleiter-Industrie.

"INOTHERM Industriewärmegeräte. Anlagen und Geräte für die Halbleiter-Industrie."

Diffusions-, Oxidations- und LPCVD-Laborsystem mit Computersteuerung, Typ LDS-200

Diffusions-, Oxidations- und LPCVD-Laborsystem mit Computersteuerung, Typ LDS-200

Die Heizung besteht aus einer wassergekühlten INOTHERM-Heizkassette mit 6 Stück Rundrohr-Infrarotstrahlern. Somit entfällt jede von Lüftersystemen und Wärmetauschern ausgehende Staubentwicklung.

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Diffusions-, Oxidations- und LPCVD Systeme mit PC-Steuerung

Diffusions-, Oxidations- und LPCVD Systeme mit PC-Steuerung

Mit dem INOTHERM Diffusions-, Oxidations- und LPCVD-System wurde ein Anlagenkonzept realisiert, welches allen technischen und technologischen Anforderungen des ULSI-Niveaus gerecht wird.

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1-Rohr-Diffusionsofen Typ DA-800-1 / Typ DA-1100-1 für Hochtemperaturprozesse

1-Rohr-Diffusionsofen Typ DA-800-1 / Typ DA-1100-1 für Hochtemperaturprozesse

Der INOTHERM 1-Rohr-Diffusionsofen eignet sicht hervorragend für sämtliche Hochtemperaturprozesse, die in der Industrie zum Einsatz kommen.

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Durchlauföfen für Einbrenn- Reflow- und Temperprozesse

Durchlauföfen für Einbrenn- Reflow- und Temperprozesse

INOTHERM - Durchlauföfen sind Muffelöfen, die sich durch universelle Verwendbarkeit, kurze Aufheizzeiten, einfache Bedienung und hohe Zuverlässigkeit auszeichnen. Sie sind bis zu 24 Heizzonen lieferbar.

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Durchlauftrockenofen Typ DLO 6300-16Z-PC

Durchlauftrockenofen Typ DLO 6300-16Z-PC

Ausführung der Anlage gemäß aktueller EGRichtlinie Maschinen 98/37/EG sowie CE-Normen und Sicherheitsvorschriften.

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Durchlauftrockenofen, Typ DLO 3000-UL-6Z

Durchlauftrockenofen, Typ DLO 3000-UL-6Z

Getaktete Transportkette mit automatisch schließenden Ein - und Auslauföffnungen.

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Durchlauftrockenofen, Typ DLO 4100-1Z-M

Durchlauftrockenofen, Typ DLO 4100-1Z-M

Zur Wärmebehandlung von Aluminiumteilen in großer Menge ( Turbinenschaufeln ).

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Heizkassetten

Heizkassetten

INOTHERM - Heizkassetten bestehen aus einer kompakten Einheit (Kassetten) und sind leicht auszutauschen.

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Kammerofen für Temper und Trockenprozesse

Kammerofen für Temper und Trockenprozesse

Edelstahl SS 316, außen L x T x H: 1400 x 1150 x 300 mm, Temperaturbereich: 50 – 120 °C

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Umluft-Trockenofen Typ TO-640

Umluft-Trockenofen Typ TO-640

Gehäuse aus Edelstahl, Edelstahltüre mit Dichtung, Hubmagnet für Türentriegelung

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Vertikales Diffusionssystem für 8“Wafer ITV-200-1350

Vertikales Diffusionssystem für 8“Wafer ITV-200-1350

Die Computersteuerung PCM-01 gestattet eine übersichtliche Programmierung und Überwachung der Prozessabläufe.

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